कंपनी Huawei EUV-लिथोग्राफी (चरम पराबैंगनी लिथोग्राफी) सिस्टम में उपयोग किए जाने वाले महत्वपूर्ण घटकों में से एक का पेटेंट कराया, जो 10 एनएम तक की तकनीकी प्रक्रिया पर उच्च श्रेणी के प्रोसेसर बनाने के लिए आवश्यक है। यह पराबैंगनी प्रकाश द्वारा निर्मित हस्तक्षेप पैटर्न की समस्या को हल करता है, जो अन्यथा प्लेट को असमान बना देगा।
कंपनी माइक्रोसर्किट उत्पादन के अंतिम चरण में है Huawei अत्यधिक पराबैंगनी प्रकाश के छोटे तरंग दैर्ध्य के कारण होने वाली समस्या को हल किया। कंपनी का पेटेंट उन दर्पणों की एक श्रृंखला का वर्णन करता है जो प्रकाश की एक किरण को कई उप-किरणों में विभाजित करते हैं जो अपने स्वयं के सूक्ष्म दर्पणों से टकराते हैं।
वर्तमान में, EUV लिथोग्राफी सिस्टम विशेष रूप से डच कंपनी ASML द्वारा निर्मित किए जाते हैं। वे लिथोग्राफी के पुराने रूपों के समान सिद्धांतों पर आधारित हैं, लेकिन लगभग 13,5 एनएम के तरंग दैर्ध्य के साथ प्रकाश का उपयोग करते हैं, जो लगभग एक्स-रे है। एएसएमएल लगभग 25 माइक्रोन व्यास वाले पिघले टिन की तेज गति वाली बूंदों से पराबैंगनी प्रकाश उत्पन्न करता है।
"गिरावट के दौरान," एएसएमएल बताते हैं, "बूंदें पहले कम तीव्रता वाले लेजर पल्स के नीचे आती हैं, जो उन्हें एक पैनकेक में चपटा कर देती हैं। एक अधिक शक्तिशाली लेजर पल्स तब चपटी बूंद को वाष्पित कर देता है, जिससे एक प्लाज्मा बनता है जो पराबैंगनी प्रकाश का उत्सर्जन करता है। माइक्रोचिप्स बनाने के लिए पर्याप्त प्रकाश उत्पन्न करने के लिए, इस प्रक्रिया को प्रति सेकेंड 50 बार दोहराया जाता है।
बेची जा सकने वाली EUV लिथोग्राफी मशीनों के पहले बैच को विकसित करने में ASML को €6 बिलियन और 17 साल से अधिक का समय लगा। लेकिन अमेरिकी सरकार दबाव डाला डच सरकार पर, ताकि कंपनी चीन को नवीनता निर्यात न करे, और देश पुरानी डीयूवी (गहरी पराबैंगनी) तकनीक तक ही सीमित रहे। इसलिए वर्तमान में केवल पांच कंपनियां ASML EUV लिथोग्राफी सिस्टम का उपयोग करती हैं या करने की योजना की घोषणा की है: यूएस में इंटेल और माइक्रोन, Samsung और दक्षिण कोरिया में SK Hynix और ताइवान में TSMC।
चीनी कंपनियां जैसे Huawei, पहले EUV लिथोग्राफी का उपयोग करके निर्मित होने वाली TSMC जैसी फैक्ट्रियों को अपने डिज़ाइन भेजने में सक्षम थे। लेकिन जब से अमेरिका ने पेश किया प्रतिबंधों चीन के खिलाफ, यह लगभग असंभव हो जाता है। हालांकि Huawei अभी भी उन्नत नोड्स तक पहुंच की आवश्यकता है जो प्रोसेसर में सुधार जारी रखने के लिए ईयूवी लिथोग्राफी का उपयोग करते हैं। इसलिए अब कंपनी अपने ईयूवी सिस्टम बनाने का लक्ष्य लेकर चल रही है और सरकार से पर्याप्त पूंजी और समर्थन प्राप्त कर रही है। लेकिन अभी इसके लिए काफी समय चाहिए।
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