Чипс үйлдвэрлэх явцад цахиур дээр нимгэн хальс түрхэх орчин үеийн технологи нь материалыг сонгоход хязгаарлагдмал байдаг. Жишээлбэл, металлаар хийсэн хальсанд физик стресс үүсдэг бөгөөд энэ нь галд тэсвэртэй металлын хувьд арилгах боломжгүй бөгөөд энэ нь хэвийн үйл ажиллагааг тасалдуулахад хүргэдэг. Японы судлаачид энэ асуудлыг шийдэж чадсан бөгөөд ямар ч хязгаарлалтгүйгээр болор дээр металл хальс үүсгэх боломжтой технологийг санал болгов.
Уламжлал ёсоор чипс дэх нимгэн хальсан металл бүрхүүл дэх физик стрессийг зөөлрүүлэх замаар арилгадаг - болорыг метал хайлж амжаагүй температурт халааж, харин стрессийг арилгахад хангалттай зөөлрүүлдэг. Хэрэв эдгээр хурцадмал хэсгүүд үлдсэн бол цаг хугацаа өнгөрөхөд энэ нь хагарал, хагарал үүсэхэд хүргэдэг бөгөөд энэ нь чипийг эмх цэгцгүй болгоно. Гэхдээ энэ арга нь галд тэсвэртэй металлаар хийсэн нимгэн хальсан бүрхүүлд тохиромжгүй бөгөөд энэ нь болорын олон элементийн ашиглалтын хугацаатай нийцэхгүй температурт стрессийг арилгахын тулд халаах ёстой. Үүнээс гадна халаалт нь үнэтэй, хэцүү байдаг нь микро схемийн өртөгт нөлөөлдөг.
Гэсэн хэдий ч хальсанд мэдэгдэхүйц хүчдэл үүсгэхгүйгээр галд тэсвэртэй металлын нимгэн хальсыг түрхэх арга байдаг - энэ нь импульсийн магнетрон цацах хуримтлал (HiPIMS) юм. Гэхдээ энд бас нэг онцлог бий. HiPIMS импульстэй зэрэгцэн талст дээрх зорилтоос "ууршсан" металлын ионуудыг жигд хуримтлуулахын тулд субстрат дээр синхрон зүсэлтийн импульс хийх шаардлагатай. Дараа нь хальсан дээрх хүчдэл нь маш бага бөгөөд нэмэлт тэжээл шаарддаггүй.
Токио Метрополитан Их Сургуулийн эрдэмтэд субстрат руу ердийн зүсэх импульс хэрэглэхгүйгээр шүрших замаар импульсийн магнетрон хуримтлуулах технологийг санал болгов. Тунадасжилтын үйл явцыг нарийвчлан судалсны дараа эрдэмтэд зүсэлтийн импульсийг бага зэрэг хойшлуулах шаардлагатайг тогтоожээ. Тэдний хувьд саатал 60 мкс байсан боловч энэ нь 0,03 GPa-ийн урьд өмнө хэзээ ч байгаагүй бага стресстэй нимгэн вольфрамын хальс үүсгэхэд хангалттай байсан бөгөөд үүнийг ихэвчлэн зөвхөн зөөлрүүлэх замаар олж авдаг.
Стрессгүй хальсыг олж авах үр дүнтэй арга нь металлжуулалтын процесс, дараагийн үеийн чип үйлдвэрлэхэд нөлөөлнө. Энэ технологийг бусад металлуудад хэрэглэж болох бөгөөд электроникийн салбарт асар их ашиг тусыг амлаж байна.
Мөн уншина уу:
- Эрдэмтэд хамгийн жижиг бөгөөд хамгийн зөв санамсаргүй тоо үүсгэгчийг танилцууллаа
- Чипний хомсдол нь хуурамч бүтээгдэхүүний тоо нэмэгдэхэд хүргэдэг