Вчені з Корнельського університету використовували модифіковану побутову мікрохвильову піч, щоб подолати значну перешкоду на шляху практичного виробництва напівпровідників за нормами 2 нм. Отриманий мікрохвильовий відпал натхненний теоріями компанії TSMC про мікрохвилі та легування кремнію фосфором. В результаті виробники напівпровідників зможуть подолати колишню межу концентрації фосфору, використовуючи нове обладнання та технології.
Щоб напівпровідникові процеси продовжували скорочуватися, кремній повинен бути легований дедалі більшими концентраціями фосфору, щоб забезпечити точну і стабільну подачу струму. На цю мить, коли промисловість починає масове виробництво 3 нм компонентів, традиційні методи відпалу досі ефективно працюють. Однак у міру того, як промисловість виходить за межі 3 нм, необхідно забезпечити концентрацію фосфору, що перевищує його рівноважну розчинність у кремнії. Крім досягнення вищих концентрацій, для виробництва функціональних напівпровідникових матеріалів життєво важлива його сталість.
Компанія TSMC раніше передбачала, що мікрохвилі можуть бути використані в процесі відпалу (нагріву) для підвищення концентрації легуючого фосфору. Однак раніше джерела мікрохвильового нагріву, як правило, створювали стоячі хвилі, що погано позначалося на стабільності нагріву. Простіше кажучи, попередні пристрої для мікрохвильового відпалу нагрівали вміст нерівномірно.
Для дослідження мікрохвильового відпалу вчені Корнельського університету заручилися підтримкою компанії TSMC і Міністерства науки і технологій Тайваню. У своїй науковій статті, опублікованій Корнельським університетом, вчені дійшли висновку, що їм вдалося «подолати фундаментальну проблему високого, але стабільного легування вищого за розчинність» завдяки передовим методам мікрохвильового відпалу.
Цей метод відпалу підходить для новітньої технології нанолистових транзисторів, де транзистори укладаються шарами. Компанія TSMC вже заявила, що використовуватиме нанолісти 2 нм для виробництва польових транзисторів з наскрізним затвором.
Провідний автор статті Джеймс Хванг, професор-дослідник кафедри матеріалознавства та інженерії, повідомив у новинному блозі університету: «Цей новий мікрохвильовий підхід потенційно може дозволити провідним виробникам, таким як TSMC та Samsung, знизити масштаб виробництва до 2 нанометрів». Дослідження буде продовжено і вже отримало подальше фінансування.
Ви можете допомогти Україні боротися з російськими окупантами. Найкращий спосіб зробити це – пожертвувати кошти Збройним Силам України через Savelife або через офіційну сторінку НБУ.
Читайте також: