Chiplarni ishlab chiqarishda kremniyga yupqa plyonkalarni qo'llashning zamonaviy texnologiyalari materiallarni tanlashda cheklangan. Misol uchun, metallardan tayyorlangan plyonkalarda jismoniy stress paydo bo'ladi, ular refrakter metallar uchun olib tashlanishi mumkin emas va bu normal ishlashning buzilishiga olib keladi. Yaponiyalik tadqiqotchilar ushbu muammoni hal qilishga muvaffaq bo'lishdi va hech qanday cheklovlarsiz kristallarda metall plyonkalarni yaratishga imkon beradigan texnologiyani taklif qilishdi.
An'anaga ko'ra, chiplardagi yupqa plyonkali metall qoplamalardagi jismoniy stress tavlanish yo'li bilan olib tashlandi - kristalni metall hali erimagan haroratga qizdirish, lekin stressni bartaraf etish uchun etarlicha yumshatish. Agar bu keskinlik joylari qolsa, vaqt o'tishi bilan bu chipni ishdan chiqaradigan yoriqlar va bo'linishlarning paydo bo'lishiga olib keladi. Ammo bu usul kristallning ko'plab elementlarining ishlash muddatiga mos kelmaydigan haroratga stressni olib tashlash uchun qizdirilishi kerak bo'lgan refrakter metallardan yasalgan yupqa plyonkali qoplamalar uchun mos emas. Bundan tashqari, isitish qimmat va qiyin, bu mikrosxemalarning narxiga ta'sir qiladi.
Biroq, plyonkalarda sezilarli kuchlanish yaratmasdan, refrakter metallarning yupqa plyonkalarini qo'llash usuli mavjud - bu impulsli magnetronli cho'kish cho'kmasi (HiPIMS). Ammo bu erda ham o'ziga xoslik bor. HiPIMS impulsi bilan bir vaqtda kristalda nishondan "bug'langan" metall ionlarining bir xil cho'kishi uchun substratga sinxron kesish pulsi qo'llanilishi kerak. Keyin plyonkalardagi kuchlanish juda, juda past va keyingi tavlanishni talab qilmaydi.
Tokio Metropolitan universiteti olimlari substratga kesish pulsini odatdagidek qo‘llamasdan, purkash yo‘li bilan impulsli magnetron cho‘ktirish texnologiyasini taklif qilishdi. Olimlar cho'kish jarayonlarini batafsil o'rganib chiqib, kesish pulsini biroz kechikish bilan qo'llash kerakligini aniqladilar. Ularning holatida kechikish 60 mks edi, ammo bu misli ko'rilmagan darajada past kuchlanish 0,03 GPa bo'lgan yupqa volfram plyonkasini yaratish uchun etarli edi, bunga odatda faqat tavlanish orqali erishiladi.
Stresssiz plyonkalarni olishning samarali usuli metallizatsiya jarayonlariga va keyingi avlod chiplarini ishlab chiqarishga ta'sir qiladi. Ushbu texnologiya boshqa metallarga ham qo'llanilishi mumkin va elektronika sanoati uchun katta foyda va'da qiladi.
Shuningdek o'qing:
- Olimlar eng kichik va eng aniq tasodifiy sonlar generatorini taqdim etishdi
- Chiplarning tanqisligi qalbaki mahsulotlar sonining ko'payishiga olib kelishi mumkin